壓力傳感器會(huì)不會(huì)受到耐溫下的限制呢?只要在許多的領(lǐng)域當(dāng)中時(shí),才會(huì)有高低溫下的正常工作壓力且傳感的比較好,施克傳感器是用于測(cè)量鍋爐的,在管道中和高溫的容器中都會(huì)有壓力和表現(xiàn)出各種的腔體內(nèi)的溫度.硅微諧振式傳感器的激勵(lì)/檢測(cè)方式有電磁激勵(lì)/電磁拾振、靜電激勵(lì)/電容拾振、逆壓電激勵(lì)/壓電拾振、電熱激勵(lì)/壓敏電阻拾振和光熱激勵(lì)/光信號(hào)拾振.
經(jīng)過(guò)很多類于的固態(tài)繼電器在電容方面,和平衡和諧振式,都會(huì)有其中最具吸引力的平衡力,其典型的產(chǎn)品都會(huì)事先進(jìn)入市場(chǎng)的,其主要的類型在于壓阻式的,檢測(cè)電容、力平衡執(zhí)行器和信號(hào)處理電路,集成制作在3mm×3mm的硅片上,其中機(jī)械部分采用表面微機(jī)械工藝制作,電路部分采用BiCMOSIC技術(shù)制作。隨后Zimmermann等人報(bào)道了利用SIMOXSOI芯片制作的類似結(jié)構(gòu),Chan等人報(bào)道了測(cè)量范圍在5g和1g的改進(jìn)型力平衡式
加速度傳感器。這種傳感器在汽車的防撞氣袋控制等領(lǐng)域有廣泛的用途,成本在15美元以下?!?br>
在橋變的和微電子開(kāi)發(fā)中都會(huì)有諧振式的,其中最為吸引的平衡都會(huì)加速度計(jì),而引領(lǐng)其典型產(chǎn)品的科技化服務(wù),對(duì)于后者采用電阻熱激勵(lì)、壓阻電橋檢測(cè)的方式,其敏感結(jié)構(gòu)為高度對(duì)稱的4角支撐質(zhì)量塊形式,在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個(gè)諧振梁用于信號(hào)檢測(cè)?! ?br>
微機(jī)械陀螺角速度一般是用陀螺儀來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動(dòng)的物體具有保持其角動(dòng)量的特性來(lái)測(cè)量角速度的。
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